產(chǎn)品簡介

TSK521質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。TSK521系列氣體質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)(以下稱MFC/MFM)通過測(cè)量層流元件的差壓、壓力、溫度來計(jì)算流量，這種測(cè)量方式具有固有的線性,重復(fù)性好,高精度,無需預(yù)熱,溫漂小等特點(diǎn)。本產(chǎn)品可以同時(shí)測(cè)量4種參數(shù)：氣體的瞬時(shí)流量、累計(jì)流量、溫度和絕壓，并且可以同時(shí)顯示和輸出。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。

技術(shù)特點(diǎn)

1、采用差壓式原理、氣體的質(zhì)量流量不受環(huán)境溫度及壓力的變化而變化。
2、管狀分流原理，便于更改量程，安裝簡易。
3、良好的傳感器封裝，減少外部溫度變化的敏感性。
4、測(cè)量和控制的量程范圍大，最大滿量程可達(dá)300ln/min（N2當(dāng)量）或20kg/min(H2O當(dāng)量)
5、預(yù)熱時(shí)間短、零飄小、測(cè)量和控制精度高，適用于微小流量的測(cè)量和控制。
6、可通過二次儀表或者PLC與儀表進(jìn)行通訊，操作簡單。
7、可直接與上位機(jī)連接，實(shí)現(xiàn)組網(wǎng)，便于操作。